柔性力学传感器与交互系统

传感器加工工艺

微结构敏感薄膜的印刷加工

设计灵敏度可调的微结构薄膜结构，研究适合大面积制备的印刷涂布工艺方法

研究薄膜堆叠集成的兼容性工艺及层间的互连技术

研究面向曲面物体集成的可拉伸传感结构及在曲面原位加工的工艺方法

应力分布调控

针对阵列式传感器中压力/应力导致的信号串扰、及电学连接的可靠性问题，研究阵列式传感器中压力/应力分布重构的调控技术

利用TFT的开关和信号放大功能，研究阵列式传感器中敏感薄膜与TFT的信号耦合方式和集成技术

针对多个传感目标，发展多种敏感薄膜与TFT集成的多功能传感阵列，研究阵列中传感信号的耦合机制和结构的方法

Associate Professor